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半导体物流解决方案

Semiconductor Logistics Solution

专为晶圆、芯片等半导体产品打造的洁净输送系统,满足Class 10级洁净度要求。具备防微振、防静电、全流程可追溯能力,保障半导体产品在传送过程中的极致安全。

Class 10
产线效率提升
<0.1μm
振动控制
100%
FOUP可追溯
▎行业痛点

汽车制造
面临的三大挑战

🔬

超洁净环境

晶圆输送需在Class 10级洁净室完成,对微粒控制极其严格。

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防微振要求

半导体工艺对振动极度敏感,输送系统振动需控制在微米级。

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全流程追溯

FOUP/晶圆盒的全流程追踪,与MES/SECS系统深度集成。

▎LISN 方案

重载智能输送
全面保障产线

🔬

Class 10洁净输送

全封闭非接触传动,零粉尘产生,满足最严苛洁净度要求。

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主动减振技术

气浮导轨+主动减振控制,振动控制<0.1μm,保障光刻级工艺安全。

🔗

SECS/GEM集成

支持SECS协议,FOUP载具全流程RFID追踪,与MES无缝对接。

应用场景

覆盖汽车制造全工艺流程

晶圆传送

晶圆盒(FOUP)输送系统

FDS摩擦驱动配合倍速链覆盖总装全流程,实现车门、仪表盘、动力总成等大件精准输送与定位,支持环形循环运行。

封装测试

封装测试工件输送

耐高温焊接环境设计,精准定位对接焊装机器人,支持多车型混线生产,满足高节拍焊接工艺需求。

仓储物流

半导体仓储与分拣

洁净输送设计满足涂装工艺要求,无缝对接下线检测工位,实现自动检测、分拣与合格判定。

方案架构

三层架构,从执行层到管理层全面覆盖

管理层

Management Layer
  • MES 制造执行系统
  • WMS 仓储管理
  • OEE 效率分析
  • 远程运维平台

控制层

Control Layer
  • 安全PLC控制器
  • 多工位调度系统
  • 急停回路管理
  • Profinet 通信

执行层

Execution Layer
  • 智能轨道输送系统
  • 同步带输送机
  • 摩擦驱动系统
  • AGV 智能搬运

核心产品

构成本方案的三大核心产品组合

智能轨道输送系统

3倍增速设计,振动控制500kg,环形循环工装板自动回流,专为汽车晶圆传送超洁净环境场景打造。

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同步带输送机

重载滚筒设计,适合汽车零部件及整车输送,运行平稳可靠,支持多种工装板规格。

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智能控制系统

安全PLC + 多工位独立调度 + 急停回路管理 + Profinet通信,满足汽车产线安全与柔性生产要求。

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▎DELIVERED RESULTS

方案成效

经过众多汽车制造企业验证的实际交付成果

Class 10
洁净度达标
倍速链超洁净环境 + 主动减振技术调度,工位间协同效率显著提升,整线OEE从60%提升至85%+,产能大幅跃升。
<0.1μm
FOUP可追溯
安全PLC + 急停回路 + 光栅防护多重保障,远程故障诊断与预防性维护,FOUP可追溯达99.9%,保障产线全天候稳定运行。
100%
FOUP可追溯
远程运维平台实时监测,故障预警与快速定位,响应时间缩短60%。
99.99%
系统可靠性
倍速链重载设计,振动控制高达500kg,满足整车晶圆传送超洁净环境需求。

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